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广东省设备研究院李兴华厅长视察中科宏微半导体设备有限公司

2011年9月22日上午,李兴华厅长在中科院半导体所李晋闽所长、国家半导体产业联盟吴玲秘书长、广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)陈志祥副院长的陪同下,视察了广东省中科宏微半导体设备有限公司并与公司领导层座谈。在听取了MOCVD设备国产化项目进展情况汇报,了解企业运作情况和存在问题后,李兴华厅长对项目实施取得的积极成效给予充分肯定,并寄语中科宏微公司把握我省LED产业发展的战略机遇,加大工作力度,力争在年底前完成量产型MOCVD国产化设备的工艺调试,打破长期以来国外企业对MOCVD设备的垄断,为我省LED产业的高端突破提供强有力的支撑。

广东省中科宏微半导体设备有限公司成立于2011年1月,由广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)与中科院半导体所共同设立,主要致力于推进MOCVD国产设备的研制及产业化工作。公司承担了第一批省战略性新兴产业专项资金LED产业项目“MOCVD设备国产化”,项目计划总投资1.6亿元,研制可一次性生长48片2英寸氮化镓基材料的MOCVD装备并开展工艺验证。在省科技厅的大力支持和有关方面的共同努力下,项目按计划进度实施并取得积极成效。目前,MOCVD设备样机已安装完毕并转入生产工艺调试和验证阶段。

省科技厅发展规划处周木堂处长、云丹平副处长陪同参加了考察活动。


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